第一百八十二章 浸入式技术(第2/2 页)
最新言情小说小说：
心の小故事、
诞生石、
夜尽天明、
（防弹少年团bts）daydream、
长安铜雀鸣（长乐曲）、
倾晨之约、
革命、
第五人格同人短文、
请仔细听她说、
魅情、
为战斗理念踏上最高殿堂、
我来自我、
（综）某结界师的补黑洞之旅、
猎魔师、
山水、
战鬼纳洛、
见鬼了，爱你。、
女武神的赠礼、
女帝大人放开我，我要去撩妹！、
夕阳带不走我和你、
机的加工精度！
陈伟东将这项“技术”，告诉了克鲁格教授。
最近这些天，他在实验中将那台从树屋研究所带回来的光刻机，精度一百九十纳米的光刻机，成功刻制出了一百零五纳米的密集图形！
这一结果让他欣喜若狂！
几近失态！
通常的光刻机，在光刻镜头与硅晶圆之间，没有任何遮挡。
当然，从另一个角度来说，它们之间，存在的是空气。
浸入式的思路，就是用液体来替换掉中间的空气。
由于液体具有折光率，所以当紫外线通过液体介质之后，它的光源波长就会缩短，从而起到精微刻制的作用。
本来他们还觉得有些老旧的光刻机，突然摇身一变，成为了一百零五纳米的光刻机，远远的超过了现有的光刻技术！
其实这个浸入式光刻技术，并不算asml首创。
早在80年代初，就有科学家采用浸入技术，成功提高了光刻效果。
然而，这项技术，它的液体很容易污染光学镜片。
所以这个这个时期的主流光刻技术研究，只是将其作为一个过渡手段，并没有起到足够的重视。
一旦下一代光刻技术成熟，便会毫不犹豫的抛弃浸入式光刻。
本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！
本章未完，点击下一页继续。